气垫（自动平衡）隔振精密光学平台安装及使用

气垫（自动平衡）隔振精密光学平台以高导磁不锈钢为台面，台面精磨加工，平整度、光洁度很好。隔振基础采用二层气囊隔离，在各个方向上都提供了优异的减振性能，减振器自身的自然振动频率非常低。稳定轻松调节，稳定可靠结构十分紧凑。自动充气，全部气动执行元件，采用进口产品。静音空气机气源，噪声低，适用于振动频率要求高的环境。

                                            结构图

技术要求

1、台面阵列M6螺孔

2、振幅不大于1.2μm

3、固有频率垂直1.2Hz-2.0Hz，水平1.2Hz-2.0Hz

4、表面粗糙度小于0.8μm

5、平面度不大于0.05mm/㎡

6、不锈钢台面厚度不小于6mm

7、重复定位精度±0.05mm

调整和使用

1、调试前擦净工作台面。

2、检查空气压缩机是否良好。

3、接通静音空气压缩机电源（AC220V），打开电源开关进行试运转。

• 调整调节座螺杆，并配合高度微调阀调节螺栓，使水平气泡移至中央部位，锁紧螺母。
• 用力下压平台任何一角，然后看水平仪气泡是否恢复初始状态。
• 工作时平台上搁置任何物品，请小心轻放，尽量避免相对摩擦，以免损伤工作台面，降低使用精度。
• 放置平台上设备已安装好后，请重新调整调节螺杆直至恢复水平。
• 长期不用本产品时，请断开空气压缩机电源，拔掉电源插头，以避免隔振气膜产生蠕变。
• 当您的工作不需要平台隔振时，只需断开空气压缩机电源开关，打开排气阀即可。

5、注意事项

1、请勿用酸性液体清洗本产品，以免破坏产品表面质量

2、请勿将本产品放置在高温、潮湿及高强度振源处

3、请勿用水冲洗本产品